Одноступенчатый редуктор давления UHP серии FR1000

Артикул

-

Бренд

Parker

Цена

-

Описание

Краткое описание: Регуляторы FR1000 обеспечивают низкий и средний расход при подаче газа сверхвысокой чистоты.
Коэффициент пропускной способности: 0.09, 0.15 Cv
Максимальное расчетное давление на входе: 3500 psig
Расчетное давление на выходе: 1–30, 2–60, 2–100, 5–150, 1–10 фунтов на кв. дюйм изб.
Материал седла: ПТФХЭ
Количество портов: 2
Тип порта: Торцевое уплотнение 1/4 дюйма, торцевое уплотнение 3/8 дюйма
Соединение порта: Внешняя, внешняя, внутренняя, внутренняя
Материал корпуса: Нержавеющая сталь марки 316L, нержавеющая сталь марки 316L двойного переплава
Варианты исполнения: Н/Д, Затвор (тарельчатый) из сплава Hastelloy
Интенсивность внутренних утечек: 4 x 10 -8 станд. куб. см / с He
Рабочая температура: от -40 до 150 °F (от -40 до 66 °C)
Материал диафрагмы: Hastelloy C-22®
Материал тарельчатого клапана: Нержавеющая сталь марки 316L
Фильтрующий материал: Hastelloy C-22®
Обработка поверхности: 10 микродюймов Ra (0,25 мкм), 25 микродюймов Ra (дополнительно)
Объем: 0.49 cm3
Редукторы давления с незакрепленной мембраной серии FR1000 производства Veriflo Division обеспечивают низкий и средний расход при давлении на входе до 3500 фунтов на кв. дюйм изб. Редукторы давления серии FR1000 обеспечивают точное регулирование технологического газа, обеспечивая стабильный расход и подачу давления в расположенные за ними системы. Эти редукторы являются отличным выбором для газораспределительных шкафов, газораспределительных пунктов, а также для различных систем производства полупроводников.
Мембрана из сплава Hastelloy C-22® в стандартном исполнении и встроенный фильтр обеспечивают длительный срок службы, а уплотнение мембраны металл-металл — высокую герметичность.
Изделия серии FR1000 обеспечивают неизменное качество, надежность и производительность, характерные для продукции Parker, и имеют очень конкурентоспособную стоимость. Изделия новой линейки дополняют ассортимент выпускаемых нами высококачественных регуляторов серий QR4000 и HF1200, и также могут использоваться в самых разных системах при производстве полупроводников.

Отрасли:
• Производство полупроводников
• Газовые компании

Особенности и преимущества
• Уплотнение мембраны металл-металл обеспечивает отличную герметичность
• Предназначены для систем подачи сверхчистых газов
10 микродюймов Класс обработки поверхности — Ra
• Обработка поверхности электрополировкой и пассивацией
• Встроенный фильтр
• Мембрана из сплава Hastelloy® в стандартном исполнении

Области применения:
• Системы установки инструмента
• Газораспределительные шкафы
• Распределительные пункты технологического газа
• Регулировка давления в месте использования